رسوب شیمیایی بخار در اصل برای رسوب دادن فلزات به تنهایی توسط انتقال در خلاء و بدون انجام واکنش شیمیایی استفاده می شده است.
روش تبخیر در خلاء:
یک منبع بخار و یک زیرلایه در یک محفظه خلاء (شکل 1-3 الف) استفاده می شود. منبع بخار معمولاً یک بوته گرم شده توسط روش مقاومتی یا القایی است
برای دانلود کل پاپورپوینت از لینک زیر استفاده کنید:
لینک منبع و پست :http://campiran.ir/project-113012-%d8%af%d8%a7%d9%86%d9%84%d9%88%d8%af-%d9%be%d8%a7%d9%88%d8%b1%d9%be%d9%88%db%8c%d9%86%d8%aa-%d9%be%d9%88%d8%b4%d8%b4-%d8%af%d9%87%db%8c-%d8%a8%d9%87-%d8%b1%d9%88%d8%b4-%d9%be%db%8c/
- ۹۵/۰۸/۲۱